这款4100T多通道、非接触式光纤温度计的测量度数更准确,而且读取率也较快,让一直领先市场的OR4000T可以轻易换代更新
北京,中国 - Media OutReach - 二零二一年十一月二十四日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一款名为Sekidenko 4100T 的高温计。这款4100T光纤温度计采用即插即用的设计,只要轻轻一插便可取代 Advanced Energy 一直领先市场的OR4000T,而且4100T的温度测量准确度特别高,温度范围也较宽广,加上内置的多条通道可同时进行读取,让读取速度可以提升至最高水平,因此极适用于先进半导体和相关的薄膜应用。
Advanced Energy 关键检测技术及控制系统市场营销及应用副总裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高温计性能卓越,技术领先同业,一直获多家顶尖的半导体OEM大厂采用。这款4100T高温计的许多功能都比原先一直领先同业的 Advanced Energy OR4000T 有进一步的改善,新功能也很多,让我们的客户可将工艺控制能力和生产力提升至无与伦比的高水平。功能齐备的4100T是一款可轻易取代OR4000T的替代品,让我们现有的客户可以轻易为系统换代更新。此外,这款高温计也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口。」
由于使用4100T的用户可以同时测量多达4个不同位置的温度,因此执行多点控制功能所不能缺少的控制箱可以进一步减少,这样有助于缩小方案大小,也可节省系统成本。此外,每一通道的读取速度可以高达1kHz,因此热反应会更快,让温度可以更易受控,并确保先进应用的温度更加一致,相关的应用包括快速热处理、激光退火、原子层沉积以及其他先进的沉积技术。
这款多通道的光纤温度计可按照特殊应用发射可配置波长,因此其准确度、可重复性和可靠性都特别高,而且读取速度也较快,适用于要求极为严格的温度测量工作。传统的热电偶和其他接触式的传感器测量方法有时并不十分适用,例如直接接触会令晶圆受损,也会产生污垢或因为受到热转移效应的影响以致出现测量误差。4100T光纤温度计可以无需接触相关物体而直接在现场测量温度,准确度在 ±1.5°C 之内。此外,4100T光纤温度计不但没有因直接接触而可能产生的问题,而且对于某些应用来说,例如,正在移动中的晶圆或正以极高温或较高变温速率(ramp rate)研磨处理中的晶圆,4100T是个理想的解决方案。
有关产品的详细资料和技术规格,可登入 https://www.advancedenergy.com/products/temperature-measurement/thermal-measurement-optical-pyrometers-power-controllers/semiconductorthin-film-pyrometers/sekidenko-4100t/ 网页查阅。
Advanced Energy 简介
Advanced Energy (纳斯达克:AEIS) 致力为任务关键型应用和工艺设备设计并制造先进精密的电源转换、测量和控制系统解决方案,这方面的技术一直领先世界。AE 一直为客户提供各种电源解决方案,让客户可针对不同工业的各种复杂应用,开发各种创新产品,其中包括半导体工业设备、工业制品、生产设备、电信设备、数据中心计算系统和护理设备。凭借广泛而深厚的专业积淀和触及全球的快速响应服务网络,AE力图通过紧密的合作伙伴关系来满足技术的快速发展、推动客户的增长并助力技术的未来。AE 总部位于美国科罗拉多州丹佛市,三十多年来一直致力为全球客户提供尽善尽美的电源产品。如需进一步查询相关资料,请登入www.advancedenergy.com网页浏览。
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(责任编辑:BBCC)