气体纯化设备是气体液化过程中一个非常重要的设备,其工作原理就是气体在制冷循环中逐步被冷却降温,在达到冷凝温度以前,气体中的杂质气体将凝结成固体,而附着在管道及阀门等处;甚至进入膨胀机,使得液化器停止工作。所以在液化过程中安装气体纯化设备,按杂质的类型采取化学方法、冷冻方法、物理吸附方法,去除杂质,以此达到气体纯化的目的。
高纯度的氮气、氢气、氧气、氩气等气体,是超大规模集成电路、平面显示器、半导体器件等电子工业生产必不可少的原材料,而这些高纯度电子气体制备的关键设备——气体纯化设备,生产难度大、生产环境要求苛刻、设备运行稳定性要求高。随着科技的飞速发展,半导体行业的不断升级,芯片线宽已经从微米级提升至纳米级,对气体纯化器产气纯度的要求也越来越高。在国内众多的气体纯化器生产厂家中,大连华邦化学有限公司依靠雄厚的经济实力、先进的生产设备、不断开拓创新的生产经营理念牢牢占据着市场优势地位,所生产的PH9系列—氮气纯化器、PH8系列—氮气纯化器、PH7系列—氢气纯化器、PH6系列—氧气纯化器、PH5系列—氩气氦气纯化器等产品在行业中收获了极高的认可度。
华邦化学从事超纯气体纯化技术、催化剂等产品的研发,在多年的发展过程中,积累了丰富的气体纯化器生产经验,其中团队的骨干成员从事气体纯化研究20余年。其自主创新生产的9N级气体纯化器,采用全新工艺制备技术路径,可将气体中的杂质脱除至十亿分之一以下,凭借世界领先的9N级纯度和高稳定性,实现了我国半导体高端装备国产化领域的又一重大突破,价格却比国际同类产品低30%。与此同时,9N级气体纯化器在2019世界半导体大会暨第十七届中国半导体市场年会中脱颖而出,荣获"中国半导体创新产品和技术奖",成为近两年辽宁唯 一获此奖项的单位。
华邦化学为一家专业的气体纯化器、HP系列轻烃加氢催化剂、物料精制剂、超纯气体现场供应与管理、纯化器租赁设备企业,在超纯气体纯化技术的研制与开发中投入了巨大的精力和资本,以中科院气体纯化专家与海归博士为带头人建“ppb级高纯气体纯化器研发团队”,投资百万元打造高纯气体分析实验室,不断促进公司向着行业领军地位稳步前进。
目前华邦化学的产品已成功应用于国内多条12英寸产线,以及数十条6~8英寸、TFT、LED、IGBT等产线,并可为客户提供超纯气体现场供应及管理、维保服务,得到了包括英特尔、海力士、京东方、中芯国际等国内外顶 级半导体企业在内的120余家单位的认可和应用,并逐步向更广阔的超纯气体应用领域拓展。
在今后发展中,希望与危机同在,机遇与挑战共存。华邦化学将不断引进先进的技术,跟上国际设备发展的步伐,努力走创新发展之路,以开发世界先进气体纯化器为己任,为中国半导体行业发展保驾护航。华邦化学期待与您携手同行,共赴精彩与荣耀。
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